1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。
2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用PLC和触摸屏控制，整个过程智能化。
6． 伺服电机驱动。
7． 具有工艺菜单功能。
137-710-83910
| 型号 | DSG04 |
| 工作腔数量 | 1 |
| 硅片规格 mm | 12” |
| 旋转速度 r/min | 300-1200 |
| 氮气压力 Mpa | 0.3 |
| 去离子水压力 Mpa | 0.3 |
| 外型尺寸（长x宽x高）mm | 963x850x1700 |
| 电源功率 kw | 4 |
| 电压 / 频率 | AC380V 50HZ |
1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。
2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用PLC和触摸屏控制，整个过程智能化。
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7． 具有工艺菜单功能。
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