1、洁净化处理技术

先进的属高洁净度要求下的“微细”控制设备。因此，设备的洁净化处理是系统内各功能单元、部件、材料、加工工艺等众多环节所要考虑的重要问题。

     采用了以下消除颗粒和可能产生污染的措施:

(1)工作过程中清洗工作腔与外界密封隔离；

(2)工作腔及片架载体采用耐腐蚀不锈钢电化学抛光；

(3)转轴采用氮气密封隔离；

(4)的精密平衡；

(5)采用无刷伺服电机驱动；

(6)精密减震及阻尼；

(7)管道、阀门接头采用聚四氟材料和高纯管件；

(8)去离子水采用电阻率监控；

(9)工作中采用防静电控制；

(10)设备在超净间内进行装调、减少和控制设备本身的污染。

2、大功率无刷电机驱动

大功率无刷电机是设备的核心部件之一,保证了设备的稳定、可靠及满足系统对高洁净度处理的要求。

3、清洗工作腔体

工作腔体采用耐腐蚀不锈钢加工。表面经电化学抛光工艺处理。即可以满足工艺对清洗腔体的使用要求,又使清洗工作腔体的浩净度和防颗粒污染性能得到了较好的解决。

4、转轴氮气密封技术

片子在冲洗甩干腔内工作时，要有一个密闭而洁净的环境空间转轴处的密封即是隔离与腔体之间联接的通道。

5、去离子水控制

旋转冲洗过程要求在给定压力、流量的条件下,必须达到要求的冲洗水流效果。同时可对水的电阻率值进行实时监控测量以判断和给定相关工艺参数和工艺时序。

在结构上,采用聚四氟管道阀体设计采用了8个旋流式冲洗喷嘴。在排水口设置有电阻率测试单元,用来检测腔体内片子冲洗过程的状态变化。

6、防静电控制

片子在清洗甩干过程中由于高压水喷射冲洗和的作用会在片子表面产生静电,一是容易形成颗粒吸附影响冲洗效果;二是产生的静电可能破坏高敏感度器件的性能。

7、防震隔震技术

减膜隔震的目的是尽量减少由于系统振动而产生的颗粒污染,在系统中首先对转动轴系做了精密的动平衡处理(包括片架在内)。保证系统工作时的平衡性和减少振源的产生。

转动轴系的减振阻尼材料采用减震率可达80%以上，宽使用频率的特种阻尼器。从使用效果

对比来看，完全达到了使系统具有良好减震效果的目的。

8、系统控制技术

以CXS-250型旋转冲洗甩干机为例,本机设有两套相互独立的电控单元以分别控制两个腔体作独立运行。

控制系统采用可编程控制器它由中央处理单元模块、数字号输入输出模块模拟号输入输出模块以及液晶显示器所组成可以方便、可靠的完成系统性能、功能对控制单元的要求。

9、安全及防护处理

该设备的功能是在高速旋转下由水、气、电各功能模块、功能单元相互有序协调作用而完成的。它对设备的可靠性、安全性以及操作者的防护有严格的要求。在设计上主要采取了水、气过程状态监控、门位置状态监控与互锁、氮气加热温度监控、工作腔体温度监控紧急停止开关等相关措施。